ESD回路シミュレーションのための保護素子の等価回路モデル
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概要
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近年、ESD(ElectroStatic Discharge:静電気放電)保護回路のESD耐性の確保が困難になってきている。このため、ESD耐性を回路シミュレーションで予測をすることが重要になっている。本報告ではESD保護素子の変調ベース抵抗モデルを組み込んだ等価回路モデルを説明する。このモデルの導入によりESD耐性の指針となるスナップバック特性を精度良く表現できるようになった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-20
著者
-
岡 秀樹
(株)富士通研究所
-
佐藤 成生
(株)富士通研究所
-
戸坂 義春
(株)富士通研究所
-
安西 浩美
(株)富士通研究所
-
鈴木 邦広
(株)富士通研究所
-
野村 俊雄
富士通株式会社
-
佐藤 成生
富士通株式会社
-
野村 俊雄
(株)富士通lsi事業部
-
安西 浩美
(株)富士通研究所 シリコンテクノロジ研究所ファブテクノロジ研究部
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