インバータ,SRAM回路におけるばらつき要因が回路特性に与える影響の分析(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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回路におけるトランジスタ特性ばらつきに加え,配線等の容量,抵抗ばらつき,ゲートリーク,接合リーク等のばらつきなども今後性能に与えるインパクトが大きくなると考えられる.本報告では,しきい値電圧と,ゲート容量,接合容量といった容量に関するばらつきの検討を行い,それぞれが与える影響について議論を行う.はじめに,ばらつき要因のモデリングとして,Monte Carloイオン注入による不純物ばらつきと,フーリエ変換を用いたLER生成の概略を説明する.次に,それらを適用した計算結果にもとついて,インバータの遅延時間バラつき,SRAMアクセス時間ばらつきについて考察を行う.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-10-24
著者
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