回路シミュレーションを用いたESD保護回路の検討
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概要
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LSIの微細化が進み、ESD(Electrostatic discharge:静電気放電)からデバイスを保護するESD保護回路の役割はますます重要になっている。しかし、保護回路の面積縮小によってESD耐性の確保が困難になっている。ESD耐性は、配線抵抗やレイアウトに依存することが分かっている。本報告書では、ESD保護素子の簡単な等価回路モデルと回路シミュレーションの手法を提案し、ESD保護回路のレイアウトの最適化に使用できる可能性を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-27
著者
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