逆位相直接接着によるGaAs基板上長波長レーザの作製
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概要
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異種材料集積技術として期待される直接接着において、格子配列が接着界面で反転するように配置して直接接着する方式(逆位相直接接着)を提案した。本研究ではGaAsとInPの逆位相直接接着を行い、断面観察の結果それらは接着界面で格子レベルで接合しており、転位が界面近傍に局在化されることが判った。また、逆位相直接接着による結晶性の劣化がないことを確認した。更に本方式をGaAs基板上への長波長帯レーザの作製に適用した。その結果、レーザ特性は、格子配列が接着界面で連続となるよう配置して直接接着する従来の方式(同位相直接接着)で作製したものと同等であった。また、50℃におけるAPC寿命試験から推定寿命は10^5時間以上と高い信頼が得られた。異種材料集積技術、逆位相直接接着、GaAs基板上長波長レーザ、高信頼性
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
著者
-
鈴木 誠
横浜市立大学一般外科
-
魚見 和久
日立製作所中央研究所
-
近藤 正彦
日立製作所中央研究所
-
近藤 正彦
日立製作所中央研究所:(現)大阪大学 大学院工学研究科
-
青木 雅博
日立製作所中央研究所
-
奥野 八重
日立製作所中央研究所
-
谷渡 剛
日立製作所光技術開発推進本部
-
鈴木 誠
日立製作所中央研究所
-
青木 雅博
(株)日立製作所 中央研究所
-
青木 雅博
日立製作所
-
鈴木 誠
日立製作所 中央研究所
-
魚見 和久
日本オプネクスト株式会社
-
谷渡 剛
日立
-
鈴木 誠
日立 中研
-
魚見 和久
(株)日立製作所 中央研究所
-
谷渡 剛
日立製作所情報通信事業部
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