0.98μm帯面発光レーザ用InGaP/GaAs多層膜反射鏡の高反射率特性
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概要
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信頼性の高い0.98μm帯InGaAs歪量子井戸型面発光レーザの実現を目的として、Alを含まないInGaP, GaAs多層膜反射鏡を減圧MOCVD法により作製し、反射特性を評価した。その結果、45周期の多層膜において、最大反射率99.8%の高反射率特性を得た。さらに、反射スペクトルの非対称性とその積層周期数依存性から層厚の安定性を評価した結果、結晶成長中の層厚の変化は約1%と僅少であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-15
著者
-
平本 清久
日立製作所中央研究所
-
魚見 和久
日立製作所中央研究所
-
篠田 和典
日立製作所中央研究所
-
平本 清久
日本オプネクスト(株)
-
土屋 朋信
日立製作所中央研究所
-
土屋 朋信
(株)日立製作所中央研究所
-
魚見 和久
日本オプネクスト株式会社
-
魚見 和久
(株)日立製作所 中央研究所
-
土屋 朋信
日立製作所
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