AlGaAs/LiNbO_3構造SAW素子の光応答特性
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概要
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ELO技術を用いて作製した、半導体薄膜と圧電材料を結合させたSAW素子によれば、半導体中のキャリアとSAWとの高効率のカップリングが可能であり,高い機能性を持つ複合素子が実現できる.本研究では,AlGaAs/LiNbO_3結合SAWデバイスについて、光励起キャリアによる伝搬特性の評価を行い、さらに電荷転送の確認を行った.また、光変調によるSAWの変調を確認できた.その結果、半導体結合SAWデバイスにより、移相器や光信号処理への応用が可能と考えられた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-11-11
著者
-
洪 哲雲
神奈川工科大学ハイテクリサーチセンター
-
宝川 幸司
神奈川工科大工学部
-
須田 隆也
神奈川工科大学工学部
-
兼城 千波
神奈川工科大学工学部
-
黄 啓新
神奈川工科大学工学部
-
青木 裕介
神奈川工科大学ハイテクリサーチセンター
-
黄 啓新
神工大工学部
-
兼城 千波
神奈川工科大・工
-
青木 裕介
三重大学 大学院工学研究科電気電子工学専攻
-
宝川 幸司
神奈川工科大学工学部
-
黄 啓新
神奈川工科大学ホームエレクトロニクス開発学科
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
青木 裕介
神奈川工科大学 ハイテクリサーチセンター
-
黄 啓新
神奈川工科大学
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