MEMSによるセンシングシステム構築のための一検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
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概要
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ナノセンシングシステムの構成要素の検討として、マイクロポンプとグルコースセンサの検討を行った。マイクロポンプは、液体や気体などの検体の流量制御に用いられ、MEMSを利用した2層構造の圧電マイクロポンプで、数n/Vの高い精度で流体を制御することができた。また、センシングシステムの中には、検出器として、光、周波数、電流などさまざまな検出器が考えられるが、今回、グルコースセンサに関する検討を行った。グルコース濃度のセンシングとして、インピーダンスによる検出を試み、微量のグルコース濃度の変化量にも応用可能であることが確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-06-25
著者
-
山村 晃
神奈川工科大学応用バイオ科学部応用バイオ科学科
-
松本 邦男
神奈川工科大学工学部応用バイオ科学科
-
松本 邦男
神奈川工大・工・応化
-
宝川 幸司
神奈川工科大工学部
-
兼城 千波
神奈川工科大学工学部
-
黄 啓新
神奈川工科大学工学部
-
黄 啓新
神工大工学部
-
兼城 千波
神奈川工科大・工
-
宝川 幸司
神工大工学部
-
松本 邦男
神奈川工大・応用バイオ科学
-
宝川 幸司
神奈川工科大学工学部
-
山村 晃
神奈川工大・応用バイオ科学
-
黄 啓新
神奈川工科大学ホームエレクトロニクス開発学科
-
Hohkawa Kohji
Department Of Electronic & Electrical Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
松本 邦男
神奈川工科大学工学部
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
松本 邦男
神奈川工科大学
-
松本 邦男
神奈川工科大 工
-
黄 啓新
神奈川工科大学
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