ポーラスな感応膜を用いた弾性波センサー
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概要
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高機能なSAWセンサーの実現は被測定物質の吸着に伴う複数の物理量の変化を大きくすることが必要である。そのため、ポーラスな構造を持つ感応膜を使用することは有効な手段である。本研究では、SAWセンサーの感応膜として、ポーラスな構造を有するゴム系高分子膜と金属担持アルミナ膜を使用し、センサーの基本特性を測定した。実験結果よりこれらの材料をSAWセンサーの感応膜の有効性を示した。また、ゴム系材料に機能分子付加した感応膜も同系統のガスを識別することも可能であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-03
著者
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宝川 幸司
神奈川工科大工学部
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黄 啓新
神奈川工科大学工学部
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宝川 幸司
神奈川工科大学工学部
-
江口 朋裕
神奈川工科大学工学部
-
佐藤 泰幸
神奈川工科大学
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黄 啓新
神奈川工科大学ホームエレクトロニクス開発学科
-
本間 輝武
神奈川工科大学工学部
-
佐藤 敦雄
神奈川工科大学工学部
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
本間 輝武
神奈川工科大学
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黄 啓新
神奈川工科大学
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