PF6 SAW用水晶基板表面の微視的構造評価(ポスターセッション3)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1996-10-23

著者

• 宝川 幸司

  神工大工学部

• 宝川 幸司

  神奈川工科大学工学部

• 野毛 悟

  神工大工

• 荒木 信成

  明電舎

• 小峰 賢二

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• 鈴木 博次

  明電舎

• 白石 英也

  明電舎

• 小峰 賢二

  株式会社明電舎

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