X-Ray Analysis of Stress Distribution in Semiconductor Films Bonded to a Piezoelectric Substrate(Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology)
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-06-15
著者
-
黄 啓新
神工大工学部
-
宝川 幸司
神工大工学部
-
AOKI Yusuke
Department of Pediatrics, Graduate School of Medicine, Gifu University
-
Koh Keishin
Department Of Electronic & Electrical Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Aoki Yasushi
Japan Atomic Energy Research Institute
-
Aoki Y
Department Of Materials Development Japan Atomic Energy Research Institute
-
Hohkawa Kohji
Department Of Electronic & Electrical Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Aoki Yuji
Superconductivity Research Laboratory Istec
-
Hohkawa Kohji
Department Of Electrical & Electric Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
KANESHIRO Chinami
Department of Electrical & Electric Engineering, Kanagawa Institute of Technology
-
Kaneshiro Chinami
Kanagawa Institute Of Technology
-
Aoki Y
Advanced Technology Research Center Kanagawa Institute Of Technology
-
NAKAJIMA Tsutomu
Department of Electrical and Electric Engineering, Kanagawa Institute of Technology
-
MIYADAI Ken-ichiro
Department of Electrical and Electric Engineering, Kanagawa Institute of Technology
-
Miyadai Ken-ichiro
Department Of Electrical And Electric Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Kaneshiro C
Kanagawa Institute Of Technology
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
Aoki Yusuke
Department Of Applied Physics Nagoya University
-
Nakajima Tsutomu
Department Of Electrical And Electric Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Koh Keishin
Department of Electrical & Electric Engineering, Kanagawa Institute of Technology, 1030 Shimo-Ogino, Atsugi-shi, Kanagawa 243-0292, Japan
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