Langmuir-Blodgett超薄膜を用いたSAWセンサの感応特性
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概要
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高機能な弾性表面波センサの実現のために、アラキジン酸およびメロシアニン色素を用いたLB膜を感応膜としたSAWセンサを作製した。本報告では、複数のガスに対するSAWデバイスの応答を調べた。その結果、SAWデバイス感応膜へのガス吸着による質量負荷効果によらない周波数の変動がみられた。QCMセンサについてのガス応答を調べたところ、ガス吸着はわずかであることがわかった。SAWデバイスを含む回路は十分な精度があった。これより、MCLB膜を感応膜としたSAWセンサにおいては、ガスに対して特異な応答をすることが確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-09
著者
-
金子 双男
新潟大学大学院自然科学研究科
-
金子 双男
新潟大学超域研究機構:新潟大学大学院自然科学研究科
-
須田 隆也
神奈川工科大学工学部
-
加藤 景三
新潟大学
-
青木 裕介
三重大学 大学院工学研究科電気電子工学専攻
-
宝川 幸司
神奈川工科大学工学部
-
佐藤 泰幸
神奈川工科大学
-
Kato K
Shizuoka Johoku Senior High School Shizuoka Jpn
-
黄 啓新
神奈川工科大学ホームエレクトロニクス開発学科
-
Kato Ken-ichi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Osaka City University
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
青木 裕介
神奈川工科大学 ハイテクリサーチセンター
-
金子 双男
新潟大学
-
黄 啓新
神奈川工科大学
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