光音響法を用いたCVDダイヤモンド薄膜の熱伝導率の測定
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概要
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最近の科学技術の分野で薄膜の熱特性量が必要とされている。一般にCVDダイヤモンド薄膜の熱伝導率は熱電対を用いて測定されている。しかし光音響(PA)法を用いると非接触で基板上に堆積した薄膜の熱伝導率が測定できるため, この方法をシリコン基板上に堆積させたダイヤモンド薄膜の厚さ方向の熱伝導率の測定に応用した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-12
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