光音響法を用いた熱伝導率を通しての半導体薄膜の特性評価
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概要
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- 日本熱物性学会の論文
- 2003-10-31
著者
-
小林 武
神奈川工科大学電気電子工学科
-
高畠 信也
神奈川工科大学電気電子工学科
-
和泉 富雄
東海大学総合科学技術研究所
-
和泉 富雄
東海大学
-
和泉 富雄
東海大学電子情報学部エレクトロニクス学科
-
藤屋 正晴
東海大学電子工学科
-
高畠 信也
神奈川工科大
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