US2000-27 / EMD2000-23 / CPM2000-38 / OME2000-33 ダイヤモンド薄膜の熱特性画像
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概要
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光音響法は局所的な熱特性の測定が可能である。筆者らは試料に光が侵入して熱源が分布するときの試料表面温度の解析を行い, シリコン基板上にCVD法を用いて堆積させたダイヤモンド膜の熱特性画像を測定した。ダイヤモンド膜の均質性の評価に熱特性画像を用いて光音響法の有効性について検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
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