ESR法によるCVDダイヤモンド薄膜の評価

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概要

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• Defect structures in diamond films prepared by CVD method have been studied using electron spin resonance (ESR) method. ESR signals were compared with those of IIb type natural diamond and amorphous carbon to investigate the defect structures in CVD-diamond films. Two kinds of ESR centers were observed in CVD-diamond films. That is, one is a narrow ESR center (g=2.003,⊿H_<pp>=3 Oe) originated from carbon dangling bonds in diamond phase carbon, and the other is a broad ESR center (g=2.003,⊿H_<pp>=8 Oe) originated from carbon dangling bonds in non-diamond phase carbon region. The broad ESR center is the characteristic of the defect structures in CVD-diamond films. The broad ESR center exists in surface region of CVD-diamond films with spin density of 10^<20> spins/cm^3.

• 東海大学の論文

著者

• 岩瀬 満雄

  東海大学

• 庄 善之

  東海大学工学部

• 和泉 富雄

  東海大学工学部

• 岩瀬 満雄

  東海大学工学部材料科学科

• 岩瀬 満雄

  東海大学工学部

• 庄 善之

  東海大学電子情報学部電気電子工学科

• 庄 善之

  東海大学工学部電気電子工学科

• 和泉 富雄

  東海大学

• 岩瀬 満雄

  東海大

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