光音響分光法による薄膜試料の熱拡散率の測定法
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概要
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基板の一部分に薄膜試料が密着した試料部分と参照にする基板のみ部分の光音響信号を比較することで, 基板の熱特性等を測定することなく薄膜試料の熱拡散率が測定できることを示す. 基板の上面に薄膜試料がある場合と, 下面にある場合の2つの測定法について示す. 基板, 試料を変えて測定した結果, 基板を変えても測定される熱拡散率は試料のバルクで測定されている文献値と試料の厚さ測定の誤差範囲で一致した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-04
著者
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