F-1335 バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : 片面駆動形の特性評価(J29-2 センサ・アクチュエータシステム)(J29 センサ・アクチュエータシステムとその知能化 : 実環境で活躍するメカトロニクスをめざして)
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概要
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In this study, a novel peristaltic micro pump using bimorph type PZT elements is proposed. The pumping of liquid is realized by peristaltic motion of metal film with controlling driving voltage of 5 bimorph-type PZT elements that are laid on the metal film. In this paper, the peristaltic micro pump (20mm×20mm×2mm) is fabricated to verify the pumping principle and to examine the characteristics. The maximum output flow rate of 220mm^3/min is obtained and the maximum load pressure of 2.3kPa is obtained.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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