電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 2層マイクロECFモータ

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概要

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• 2001-06-20

著者

• 近藤 豊

  東京工業大学精密工学研究所

• 横田 眞一

  東工大精研

• 近藤 豊

  東工大精研

• 枝村 一弥

  新技術マネイジメント

• 平田 雅一

  東工大院

• 横田 眞一

  東工大

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