5620 MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発(J20-2 メカニカルシステムとその知能化(2),J20 メカニカルシステムとその知能化)
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概要
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We propose the new advanced micromotor integrated with Electro-conjugated Fluid (ECF) jet and MEMS fabrication technology. To realize three-dimensional complex structures of ECF micromotor, we present the fabrication method of multilayer combined with two different kinds of thick photoresists: one is for microstructure, while the other is used sacrificially. Electrodes for ECF jet and the first layer were successfully fabricated. As a result of ECF jet observed in the stator whose inner diameter was 500μm, we showed that improvement of surface flatness for the following layer could realize MEMS-based ECF micromotor.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
横田 眞一
東京工業大学
-
横田 眞一
東工大精研
-
枝村 一弥
新技術マネイジメント
-
吉田 和弘
東京工業大学精密工学研究所
-
枝村 一弥
(有)新技術マネイジメント
-
吉田 和弘
東工大精研
-
金 俊完
東工大精研
-
西田 吉人
東工大精研
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