電界共役流体(ECF)を駆動源とするダイヤフラム式平面形マイクロポンプ(OS11 機能性流体アクチュエータ)
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概要
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An electro-conjugate fluid (ECF), which generates powerful jet flow under high voltage supply, is a kind of functional fluids. The fluid is suitable for micro actuation. In this study, we develop a new type of plate-type micro diaphragm pump driven by ECF. We propose the driving principle of the micro pump, and fabricate a prototype of the pump. The Experimental results confirm the usability of the micro pump.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-04-16
著者
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