共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ : マイクロシートバルブの提案と実験的検討
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-11-01
著者
-
横田 眞一
東京工業大学
-
吉田 和弘
東京工業大学精密工学研究所
-
朴 重濠
東京工業大学精密工学研究所
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン(株)
-
高城 邦彦
セイコーエプソン(株)
-
中須 祥浩
東工大院
-
中須 祥浩
東京工業大学大学院
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン
-
高城 邦彦
セイコーエプソン
-
吉田 和弘
東京工業大学
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