電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ(RE形ECFマイクロモータの提案および微小化特性の実験的検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-11-01
著者
-
横田 眞一
東京工業大学
-
近藤 豊
東京工業大学精密工学研究所
-
枝村 一弥
新技術マネイジメント
-
大坪 泰文
千葉大学工学部
-
大坪 泰文
千葉大学大学院工学研究科 建築・都市科学専攻
-
根本 敏之
(株)日立製作所:東京工業大学大学院
-
根本 敏之
東京工業大学精密工学研究所
関連論文
- 電界共役流体の基礎と応用(機能性流体)
- 電界共役流体を用いたマイクロ液体レートジャイロの研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 定圧力源システムを用いたフライホイールハイブリッドカー : 台上試験装置の試作および市街地走行模擬実験(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ : 片面駆動形の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 電界共役流体(ECF)を応用したモータ : ディスクプレート形ECFモータの提案(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 薄形ロータの積層化および内径1mmマイクロECFモータの試作
- 6軸電気油圧マニピュレータへのPFCを応用した2自由度制御の適用
- 定圧力源システム(CPS)を応用したフライホイールハイブリッドカー : 実車搭載用のフライホイールハイブリッドカー駆動系の試作
- 植毛電極による誘導液体の粘度増加を用いた液圧制御弁 : 植毛ERバルブの提案 : 機械要素,潤滑,工作,生産管理など
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : ロータ電極(RE)形マイクロECFモータの提案
- 6軸電気油圧マニピュレータのロバスト制御に関する研究
- J1601-1-5 ERFを用いたマイクログリッパ(メカニカルシステムとその知能化)
- 電界共役流体(ECF)を駆動源とするダイヤフラム式平面形マイクロポンプ(OS11 機能性流体アクチュエータ)
- オーバライド圧力補償直動形アンロード弁
- ダンピング絞りを有する比例制御弁の動特性
- 757 管路内側に電極配置を有するECF管路形ポンプ(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- 並列フィードフォワード補償器を応用した2自由度制御 : (6軸電気油圧シリアルマニピュレータの制御における有効性について)
- フェライト粒子を用いたMR流体を作動流体とした制御弁(機械力学,計測,自動制御)
- 共振駆動を用いた圧電マイクロポンプ : マイクロシートバルブの提案と実験的検討
- 油圧ショベルのブーム,アーム系の高精度軌跡制御
- 電界共役流体を用いたポンプ・タンク一体型液圧駆動ロボットフィンガ(機械力学,計測,自動制御)
- J1101-1-3 ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータの開発(次世代アクチュエータシステム)
- 高出力圧電マイクロポンプ
- 759 ERマイクログリッパに関する研究(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- 電界共役流体(ECF)を応用した強制液冷用薄形平面ポンプ
- 3205 出力変位を拡大した位置フィードバック形ERマイクロアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3204 MEMS技術によるECFジェットアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1304 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータの開発(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 1303 MEMS技術を用いたECFマイクロモータ(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 754 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源の高出力化(流体パワーによる駆動と制御I)
- 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ(機械力学,計測,自動制御)
- 2907 ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータ(J20-2 次世代アクチュエータシステム(2),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 機能性流体を用いたマイクロアクチュエータ
- ニューアクチュエータ--最近の研究開発動向と機能性流体の応用事例 (特集 ニューアクチュエータ--次世代を担うアクチュエータの動向)
- 760 カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ(流体パワーによる駆動と制御II)
- 5620 MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発(J20-2 メカニカルシステムとその知能化(2),J20 メカニカルシステムとその知能化)
- 大きなむだ時間を有する非線形プロセスに対する非線形状態予測スライディングモード制御とその応用(機械力学,計測,自動制御)
- MR流体を作動流体とした圧力制御弁(MR流体の特性改善と3ポートバルブの試作)
- 流体パワーを用いた管内走行マイクロマシン : 管径に適応できるメカニズム
- 油圧管路の動特性実験による高周波用瞬時流量測定法の検討
- 液晶系ERFを用いたマイクロシステム (特集 機能性流体テクノロジーの最前線)
- マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御 : 第2報,MEMS技術を応用したセンサの試作(機械力学,計測,自動制御)
- ECF(電界共役流体)を応用したアクチュエータ・センサ (特集 機能性流体テクノロジーの最前線)
- ECFジェット冷却を用いたSMA駆動マイクロポンプ
- 電界共役流体を用いたアクチュエータ・センサ
- 758 ECFアクチュエータによるマイクロマニピュレータ(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- ECFジェット駆動マイクロフィンガの提案とラージモデルの特性評価
- 電界共役流体により駆動されるミミズ型ぜん動駆動マイクロマシン
- 2906 スリーブ形ECFマイクロ人工筋の研究(J20-2 次世代アクチュエータシステム(2),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 電界共役流体を用いたミミズ型ロボット
- 761 セルの集積化によるECFマイクロ人工筋(流体パワーによる駆動と制御II)
- 759 のこぎり状電極を用いた高出力DP形ECFマイクロモータ(流体パワーによる駆動と制御II)
- 4107 ECFマイクロ人工筋セルの集積化(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- 4106 電極形状によるECFマイクロモータの高出力化(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- ECFジェットによる発生圧力を応用したチューブ形ECFマイクロアクチュエータ
- 2312 DP-RE形ECFマイクロモータの高出力化(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 電界共役流体(ECF)を用いたマイクロモータの高出力化
- 4105 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの開発(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- MR流体を弁体としたマイクロバルブ(機械力学,計測,自動制御)
- 管路の圧力流量間の動特性を利用した非定常流量計測手法 : 2点の圧力を用いる手法
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : ECFモータの薄形化・小径化
- MR流体を作動流体としたマイクロバルブ(機械力学,計測,自動制御)
- 2314 高出力極薄平面形ECFポンプの開発および特性評価(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 761 EOFマイクロモータの性能向上に関する研究 : 電極形状の検討(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 油圧ショベルのアーム系3軸のロバスト軌跡制御 : 外乱オブザーバによる制御の有効性の検討
- 油圧ショベルのアーム系の軌跡制御(外乱オブザーバによる制御の有効性の検討)
- 油圧ショベルのブーム・アーム・バケット系の高精度軌跡制御 (H_∞制御理論による外乱オブザーバの安定化制御器の設計)
- 760 ECF駆動ミミズ形ぜん動マイクロマシン(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御 : 第1報,ラージモデルを用いた実験的検討(機械力学,計測,自動制御)
- 加熱/冷却一体形プレートを用いたフォトレジストプロセスにおけるウェハの任意熱履歴制御(機械力学,計測,自動制御)
- モデル規範形スライディングモード制御を応用したマスター・スレーブ制御 : マルチゾーン形クーリングプレートの温度軌跡追従制御(機械力学,計測,自動制御)
- むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用(機械力学,計測,自動制御)
- 形状記憶合金アレイアクチュエータを用いた小形比例弁
- 電界共役流体(ECF)を応用した電子チップ液冷用平面薄形ポンプ(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- MR 流体を作動流体とした液圧制御システム
- 円筒形絞りを用いた瞬時流量計の高機能化
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ(RE形ECFマイクロモータの提案および微小化特性の実験的検討
- 円板形の抗力板に働く抗力を用いた非定常流量計測手法 : 動的モデルを用いた瞬時流量の実時間計測
- 管内遠隔瞬時流量計測手法の機能拡張に関する研究 : 第1報,機能拡張の提案と内挿手法について
- 762 MEMS技術を用いたECFマイクロモータアレイの提案(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 759 ECFマイクロ人工筋セルの積層化(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 758 ECFジェット駆動マイクロフィンガの特性評価(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 電界共役流体に発生するジェット流を用いたマイクロ人工筋アクチュエータ(機械力学,計測,自動制御)
- 車両駆動用定圧力源システムに関する研究 (第1報 フライホイールポンプ/モータによる省燃費効果に関するシミュレーション)
- 東京工業大学 横田・吉田研究室 (特集 IFPEX2011--フルードパワーの可能性)
- ECFジェットを用いた液体マイクロレートジャイロ(トピックス)
- 定圧力源システム(CPS)によるハイブリッドカー(縮小モデルによる市街地走行模擬実験)
- 市街地走行ハイブリッドバスへのCPSの適用効果のシミュレーション
- 電界共役流体を用いた2軸液体マイクロレートジャイロの開発
- 2313 薄膜金属ガラスを用いた集積形ERマイクロアクチュエータ(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 流体パワーを用いた管内走行マイクロマシン : 分岐管走行可能な小形走行メカニズムの試作
- 6軸油圧マニピュレータのロバスト制御に関する研究 : 各ロバスト制御手法の実験的比較
- 6軸電気油圧マニピュレータのコンプライアンス制御
- 電気油圧マニピュレータの高精度制御 外乱オブザーバを用いたモデルマッチング2自由度制御による6軸油圧マニピュレータの軌跡制御
- 電気油圧マニピュレータの高精度制御 -H∞制御による6軸油圧マニピュレータのロバスト制御-
- 配電作業用電気油圧マニピュレータの高精度制御 : スライディングモード制御による6軸油圧マニピュレータの軌跡制御
- 配電作業用電気油圧マニピュレータの高精度制御 第3報 外乱オブザーバを用いた6軸マニピュレータの高精度軌跡制御
- 気泡の存在する油圧システムの過渡現象の数値解析 (張力の働くガスモデル)
- 六軸電気油圧双腕マニピュレータの協調作業 : 離散イベント制御の電線のスリーブへの挿入作業への応用
- 一組の六軸電気油圧マニピュレータを用いた力制御 : ボルトとナットの装着続付作業への応用