1303 MEMS技術を用いたECFマイクロモータ(マイクロアクチュエータ,一般講演)
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概要
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We propose the new advanced micromotor integrated with electro-conjugated fluid (ECF) jet and MEMS fabrication technology. To realize three-dimensional complex structures of ECF micromotor, we present the low temperature fabrication of multilayer combined with microstructures and sacrificial layers. In addition, we conceive an advanced fabrication to use dry film photoresist of SU-8. Although we have not completed MEMS-based ECF micromotor, we show the possibility to fabricate the device, recognize the problems, and present the modified fabrication method.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-04-20
著者
-
横田 眞一
東京工業大学
-
横田 眞一
東工大精研
-
枝村 一弥
新技術マネイジメント
-
吉田 和弘
東京工業大学精密工学研究所
-
枝村 一弥
(有)新技術マネイジメント
-
吉田 和弘
東工大精研
-
金 俊完
東工大精研
-
横田 眞一
東京工業大学 精密工学研究所
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