4105 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの開発(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
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概要
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A full-wave rectifying piezoelectric micropump using fluid inertia effect in pipes was proposed and developed for millimeter-sized micromachines using high density fluid power. The proposed pump has pump chambers upper and lower sides of a piston driven by a piezoelectric element, each of which has an inlet check valve and an outlet pipe in place of a check valve and produces outflow alternately not only in pumping period but also in suction one by using fluid inertia effect in the outlet pipe and liquid column separation. The fabricated pump showed higher no-load flow rate and realized a linear aquadrive system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
横田 眞一
東京工業大学
-
横田 眞一
東工大精研
-
吉田 和弘
東工大精研
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン(株)
-
高城 邦彦
セイコーエプソン(株)
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン
-
高城 邦彦
セイコーエプソン
-
杉浦 啓太
東工大院
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