電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 薄形ロータの積層化および内径1mmマイクロECFモータの試作

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概要

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• 2001-11-01

著者

• 横田 眞一

  東京工業大学

• 近藤 豊

  東京工業大学精密工学研究所

• 枝村 一弥

  新技術マネイジメント

• 中山 啓

  東京工業大学大学院総合理工学研究所

• 中山 啓

  東工大院

• 中山 啓

  東京工業大学

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