バイモルフ形PZTを用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : マイクロチップポンプラージモデルの試作

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概要

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• 2000-06-29

著者

• 近藤 豊

  東京工業大学精密工学研究所

• 横田 眞一

  東工大精研

• 近藤 豊

  東工大精研

• 丁 向

  東京工業大学大学院

• 丁 向

  東工大院

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