1A1-49-060 半導体プロセスによる試作マイクロ ER バルブの基本特性
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概要
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流体パワーを用いたマイクロマシンに搭載するマイクログリッパの制御のため, 著者らは印加電界で容易に圧力制御可能な均一系ER流体を作動流体としたマイクロERバルブを提案し, 機械加工による2ポートバルブの試作を通してその有効性を示している。本報では, マイクロERバルブのさらなるマイクロ化を図るため, 異方性エッチングおよび陽極接合技術を用いた2ポートバルブを試作し, 電極構造パラメータに対する静特性実験を通して, ER効果の詳細な検討をおこなう。
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