電界共役流体(ECF)を用いた高集積マイクロモータ(アクチュエータの機構と制御1)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2004-06-18

著者

• 横田 眞一

  東工大精研

• 枝村 一弥

  新技術マネイジメント

• 竹村 研治郎

  東工大

• 河村 清美

  東京工業大学精密工学研究所

• 河村 清美

  東工大

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