管路慣性を応用したマイクロポンプ : 最適構造の検討(OS11 機能性流体アクチュエータ)
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概要
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For fluid microactuators and microfactory, the authors have proposed a novel high output micropump using inertia effect of fluid which has a pipeline element in place of an outlet check valve and verified the effectiveness with a fabricated micropump. To increase the output power and to miniaturize the size, this paper investigates the optimal structure through simulations based on the proposed simple mathematical model with lumped parameters and experiments using fabricated micropumps with different sizes of the pipeline element. Also, the optimal diameter of the diapharm is investigated through simulations.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-04-16
著者
-
横田 眞一
東工大精研
-
朴 重濠
東京工業大学精密工学研究所
-
吉田 和弘
東工大精研
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン(株)
-
高城 邦彦
セイコーエプソン(株)
-
鄭 淵午
東工大院
-
朴 重濠
東工大精研
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン
-
高城 邦彦
セイコーエプソン
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