2P1-H07 小形流体アクチュエータ用高出力マイクロポンプの開発
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概要
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個別に流体パワー源を持つ小形液体アクチュエータ用として, 高出力マイクロポンプの研究を行っている。本報では, ピエゾ駆動ポンプの吐出弁に替えて, 流体慣性力を保存する管路要素を設けた新構造を提案する。新構造マイクロポンプは, ポンプ室直径3mmで流体出力約50mWを達成し, ポンプの体積効率は100%を超えることがわかった。また開発したマイクロポンプを用い, 指形フレキシブルアクチュエータの屈曲動作が可能である事を実証した。
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
横田 眞一
東工大精研
-
朴 重濠
東京工業大学精密工学研究所
-
吉田 和弘
東工大精研
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン(株)
-
高城 邦彦
セイコーエプソン(株)
-
朴 重濠
東工大精研
-
瀬戸 毅
セイコーエプソン
-
高城 邦彦
セイコーエプソン
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