2P2-H01 均一系 ER 流体を用いたバルブ集積形マイクロアクチュエータの提案
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概要
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流体駆動マイクロマシンの制御のため, 著者らは, 印加電界で粘度制御できる均一系ER流体を作動流体としたマイクロERバルブの開発を進めてい。本報では, マイクロマシンへの実装を目的に, 流体アクチュエータに上記バルブを集積化したバルブ集積形マイクロアクチュエータを提案, 試作する。まず, マイクロERバルブの高性能化, 小形化について実験すに検討する。次に, 柔軟で大変位が得られるボリイミド薄膜形流体アクチュエータを提案, 試作し, 特性実験を行う。最後に, 上記要素を集積化し, 特性実験を行うとともに, 応用について検討する。
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