119 バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : ポンピング特性の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In this study, a novel peristaltic micro pump using bimorph type PZT elements is proposed. There are two types such as single side type and double side type in the proposed pump. The pumping of liquid is realized by peristaltic motion of metal film with controlling driving voltage of 5 bimorph-type PZT elements that are laid on the metal film. In this paper, the peristaltic micro pump (20mm×20mm×2mm) is fabricated to verify the pumping principle and to examine the characteristics. Intermittent sinusoid driving method for PZT element is proposed to advance the pumping characteristics. The maximum output flow rate of 250mm^3/min is obtained and the maximum load pressure of 3.1kPa is obtained.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-03-30
著者
関連論文
- 定圧力源システムを用いたフライホイールハイブリッドカー : 台上試験装置の試作および市街地走行模擬実験(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 210 針状電極 ECF ジェットを用いたマイクロアクチュエータ : 提案とラージモデルの特性評価
- バイモルフ形PZT素子アレイを用いた薄形ぜん動管路形マイクロポンプ : 片面駆動形の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 解説 植毛ERバルブ--フルイドパワーシステムの新たな展開を目指して
- 電界共役流体(ECF)を応用したモータ : ディスクプレート形ECFモータの提案(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 薄形ロータの積層化および内径1mmマイクロECFモータの試作
- 6軸電気油圧マニピュレータへのPFCを応用した2自由度制御の適用
- 定圧力源システム(CPS)を応用したフライホイールハイブリッドカー : 実車搭載用のフライホイールハイブリッドカー駆動系の試作
- 530 ECFジェットを用いたマイクロアクチュエータ : 提案とラージモデルの試作(オーガナイズドセッション : 油圧空気圧による駆動と制御2)
- F-1336 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 2層マイクロECFモータの特性評価(J29-2 センサ・アクチュエータシステム)(J29 センサ・アクチュエータシステムとその知能化 : 実環境で活躍するメカトロニクスをめざして)
- F-1335 バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : 片面駆動形の特性評価(J29-2 センサ・アクチュエータシステム)(J29 センサ・アクチュエータシステムとその知能化 : 実環境で活躍するメカトロニクスをめざして)
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 2層マイクロECFモータ
- 植毛電極による誘導液体の粘度増加を用いた液圧制御弁 : 植毛ERバルブの提案 : 機械要素,潤滑,工作,生産管理など
- 120 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 積層形マイクロECFモータ試作
- 119 バイモルフ形PZT素子を用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : ポンピング特性の検討
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : ロータ電極(RE)形マイクロECFモータの提案
- 732 バイモルフ形PZTを用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : 片面駆動形の提案(O.S. 油圧空気圧による駆動と制御II)(油圧空気圧による駆動と制御)
- 731 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : DP-RE形ECFモータの積層化(O.S. 油圧空気圧による駆動と制御II)(油圧空気圧による駆動と制御)
- 6軸電気油圧マニピュレータのロバスト制御に関する研究
- 1015 電界共役流体を応用したマイクロモータ : 内部高さ 0.7mm ECF モータ試作
- 2P1-1F-C6 画像積算を用いた実時間運動ステレオビジョン
- J1601-1-5 ERFを用いたマイクログリッパ(メカニカルシステムとその知能化)
- 電界共役流体(ECF)を用いた平面形マイクロポンプ(アクチュエータの機構と制御1)
- 757 管路内側に電極配置を有するECF管路形ポンプ(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- 858 電気油圧パラレルマニピュレータのロバスト制御に関する研究
- 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適設計(S50-1 アクチュエータシステム(1),S50 アクチュエータシステム)
- 管路慣性を応用したマイクロポンプ : 最適構造の検討(OS11 機能性流体アクチュエータ)
- 854 管路慣性を応用したマイクロポンプの最適構造
- 2317 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプのシミュレーション
- 202 アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ : 負荷特性と小形化の検討
- 2A1-2F-E4 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプの高出力化
- 1A1-1F-E8 シート形アクティブシャトル弁を用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ
- 3245 アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ
- 213 マイクロファクトリのための高出力流体パワー源
- 212 ER バルブ集積形マイクロアクチュエータ
- 2P2-H01 均一系 ER 流体を用いたバルブ集積形マイクロアクチュエータの提案
- 2P1-H07 小形流体アクチュエータ用高出力マイクロポンプの開発
- 532 MR流体を作動流体としたベローズ駆動マニピュレータ(オーガナイズドセッション : 油圧空気圧による駆動と制御2)
- 529 均一系ER流体を作動流体としたパルプ集積形マイクロアクチュエータ(オーガナイズドセッション : 油圧空気圧による駆動と制御2)
- 1A1-D8 均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ : 管内走行マイクロマシンへの応用(45. 機能性流体およびその応用)
- 127 均一系ER流体を作動流体としたポンプ搭載形管内走行マイクロマシン
- 319 均一系ER流体を用いたポンプ搭載形管内逆行マイクロマシン : バルブおよびポンプの実験的検討(流体工学III・流体機械)(オーガナイズドセッション(b)実地における流体諸問題)
- 電界共役流体を用いたポンプ・タンク一体型液圧駆動ロボットフィンガ(機械力学,計測,自動制御)
- J1101-1-3 ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータの開発(次世代アクチュエータシステム)
- 759 ERマイクログリッパに関する研究(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- 3205 出力変位を拡大した位置フィードバック形ERマイクロアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3204 MEMS技術によるECFジェットアクチュエータ(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1304 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータの開発(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 1303 MEMS技術を用いたECFマイクロモータ(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 754 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源の高出力化(流体パワーによる駆動と制御I)
- 2907 ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータ(J20-2 次世代アクチュエータシステム(2),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 760 カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ(流体パワーによる駆動と制御II)
- 758 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源による高粘度流体のポンピング(流体パワーによる駆動と制御II)
- 5620 MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発(J20-2 メカニカルシステムとその知能化(2),J20 メカニカルシステムとその知能化)
- 粒子分散系ER流体を応用した圧力制御弁
- 電気粘性流体を用いた液圧制御弁 : 圧力制御弁への応用
- F-1329 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン : マニピュレータ制御への応用(J29-1 ロボットビジョン)(J29 センサ・アクチュエータシステムとその知能化 : 実環境で活躍するメカトロニクスをめざして)
- 202 輝度勾配に基づく実時間運動ステレオビジョン : 計測精度とカメラ移動速度の向上(計測)(オーガナイズドセッション(a)材料力学・材料強度に関する新展開)
- 1011 半導体プロセスを用いたマイクロ ER バルブ : 3 ポートマイクロ ER バルブの試作と特性実験
- 1A1-49-060 半導体プロセスによる試作マイクロ ER バルブの基本特性
- 1012 植毛電極による誘電液体の粘度増加を用いた液圧制御弁 : 4 ポート植毛 ER バルブ試作
- 2902 フレキシブルERマイクロアクチュエータの基本特性(S63 アクチュエーターシステム)
- 1P1-S-080 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの開発(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 807 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータの提案(流体パワーによる駆動と制御)
- 油空圧技術ってローテク?
- 861 ECFを駆動源とするマイクロ人工筋の開発(流体パワーによる駆動と制御)
- 758 ECFアクチュエータによるマイクロマニピュレータ(流体パワーによる駆動と制御IV,オーガナイズドセッション)
- 2906 スリーブ形ECFマイクロ人工筋の研究(J20-2 次世代アクチュエータシステム(2),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 761 セルの集積化によるECFマイクロ人工筋(流体パワーによる駆動と制御II)
- 759 のこぎり状電極を用いた高出力DP形ECFマイクロモータ(流体パワーによる駆動と制御II)
- 4107 ECFマイクロ人工筋セルの集積化(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- 4106 電極形状によるECFマイクロモータの高出力化(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- 2312 DP-RE形ECFマイクロモータの高出力化(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 4105 管路内の流体慣性を応用した全波整流形圧電マイクロポンプの開発(S67-2 アクチュエータシステム(2),S67 アクチュエータシステム)
- 808 MR流体を用いたマイクロ流体制御システム(流体パワーによる駆動と制御)
- 3244 MRF 液滴を弁体としたマイクロバルブ : 圧力制御範囲の拡大
- 531 MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ : 直交形弁駆動磁気回路の提案(オーガナイズドセッション : 油圧空気圧による駆動と制御2)
- 128 MRF液滴を弁体としたマイクロバルブ : 流量制御特性の改善
- 607 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : 内径2mm RE形ECFモータの試作(マイクロ)(機素潤滑設計部門企画セッション)
- 2A1-47-057 電界共役流体を応用したマイクロモータ : 内径 2mmRE 形 ECF モータ特性評価
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : ECFモータの薄形化・小径化
- バイモルフ形PZTを用いた薄形ぜん動マイクロポンプ : マイクロチップポンプラージモデルの試作
- MR 流体を作動流体とした液圧制御システム
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ(RE形ECFマイクロモータの提案および微小化特性の実験的検討
- 定圧力源システム(CPS)によるハイブリッドカー(縮小モデルによる市街地走行模擬実験)
- 市街地走行ハイブリッドバスへのCPSの適用効果のシミュレーション
- シリ-ズ:新流体アクチュエ-タ(1)ER流体を作動流体とした液圧システム
- CPSハイブリッドバス (特集 ハイブリッドバスと油圧)
- 電界共役流体(ECF)を応用したマイクロモータ : ステータ電極(SE)形マイクロECFモータの提案
- 機能性流体を用いたアクチュエータ
- ハイブリッド車駆動用定圧力源システム
- 円板形の抗力板に働く抗力を用いた管路内往復流れの振動流量計測(ピストンシリンダ式流量計測手法による較正)
- ER流体を作動流体とするフルイドパワーシステム
- MR流体を作動流体とした液圧制御弁の提案
- 定圧力源システム(CPS)を応用したフライホイールハイブリッドカー(シミュレーションおよび縮小モデル実験による検討)
- 植毛電極を用いた液圧制御弁 : 植毛ERバルブの試作および実験的検討
- ER流体を作動流体とした液圧駆動系 : 管内走行マイクロマシンの実現
- 電気粘性流体を用いた液圧制御弁 : マイクロERバルブの設計と試作(機械力学,計測,自動制御)
- 電気粘性流体を応用した液圧制御弁 (圧力制御ERバルブを用いた1軸マニピュレータの試作)
- 電気粘性流体を応用した液圧制御弁に関する研究