530 ECFジェットを用いたマイクロアクチュエータ : 提案とラージモデルの試作(オーガナイズドセッション : 油圧空気圧による駆動と制御2)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2001-09-28

著者

• 近藤 豊

  東京工業大学精密工学研究所

• 横田 眞一

  東工大精研

• 上田 渉

  東工大院

• 近藤 豊

  東工大精研

• 枝村 一弥

  新技術マネイジメント

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