白色光干渉方式スライダ浮上量測定機の測定値の補正
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概要
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The white light interference method is widely used to measure the flying height of a magnetic head slider. This method is very convenient for measuring flying height but presents difficulty when measuring an absolute and precise value of very low flying heights. We therefore selected two types of white light flying testers to compare with a monochromatic UV light interference flying height tester in measured flying heights. We found that white light testers are subject to measurement errors that vary with the flying height.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1997-08-25
著者
-
田中 勝之
滋賀県立大学
-
田中 勝之
慶應義塾大学大学院機械工学科
-
田中 勝之
滋賀県立大
-
藤井 正孝
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
-
竹内 芳徳
(株)日立製作所機械研究所
-
村主 文隆
(株)日立製作所機械研究所
-
宮澤 嘉彦
(株)日立製作所ストレージシステム事業部(株)
-
竹内 芳徳
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
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