光干渉法によるスライダ浮上量の測定における反射光の位相遅れに起因する測定誤差の検討
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概要
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"Zero-spacing error (ZSE)", which occurs in measuring flying height by light interference, is caused by phase shift of reflecting light from a magnetic head slider surface. The measured flying height is larger than the true height. The ZSE is measured by two methods. The first measures ZSE by calculating from complex indices of refraction of three kinds of slider material measured by ellipsometer. In the 400〜800 nm wavelength range, ZSEs were confirmed with ±7% accuracy (average). The second method is a direct measuring method using a "standard wedge spacer". The spacer makes a wedge-shaped space between the ceramic samples and the spacer. This method was also used to reconfirm ZSE.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1992-02-25
著者
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田中 勝之
(株)日立製作所 機械研究所
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田中 勝之
慶應義塾大学大学院機械工学科
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竹内 芳徳
(株)日立製作所機械研究所
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村主 文隆
(株)日立製作所機械研究所
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竹内 芳徳
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
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