紫外光干渉による磁気ヘッドスライダ浮上量の精密測定法
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概要
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A new flying height tester has been developed for magnetic head sliders. This tester measures the light interference fringe patterns between the slider and a glass disk, and calculates the absolute flying height from their peak positions. The tester uses monochromatic incoherent UV and visible light, which has a minimum wavelength of about 200 nm, and the slider's dynamic motion measurement system is separated from the static flying height measurement system. Hence, it can measure a 50 nm flying height within an error of less than 1 nm. The tester can also measure a slider's dynamic motion in the 0-100 kHz frequency range using photodiode arrays. The performance of the tester was confirmed through careful experiments.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1994-03-25
著者
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田中 勝之
(株)日立製作所 機械研究所
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田中 勝之
慶應義塾大学大学院機械工学科
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竹内 芳徳
(株)日立製作所機械研究所
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村主 文隆
(株)日立製作所機械研究所
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竹内 芳徳
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
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