4a-Z-3 X線高次反射トラバーストボグラフ法によるFZ-Si結晶中の微小欠陥の観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1990-09-12
著者
-
阿部 孝夫
信越半導体(株)半導体研究所
-
飯田 敏
富山大・理
-
河田 洋
高エ研・放射光
-
上田 和浩
日立・日立研
-
阿部 孝夫
信越半導体
-
阿部 孝夫
信越半導体kk
-
河田 洋
KEK・PF
-
杉田 吉充
富山大・理
-
飯田 敏
富山大学理学部物理学科
-
沖津 康平
高工研(放射光)
-
上田 和浩
富山大学 理学部
-
笠置 延生
富山大・理
-
上田 和浩
富山大・理
-
沖津 康平
富山大・理
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