7a-X-2 ブラッグケースのセクショントポグラフィによるシリコン結晶中微小欠陥の観察 II

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-09-16

著者

• 阿部 孝夫

  信越半導体(株)半導体研究所

• 飯田 敏

  富山大・理

• 河田 洋

  高エ研・放射光

• 河田 洋

  高エネルギー加速器研究機構・物質構造科学研究所・放射光科学研究施設

• 阿部 孝夫

  信越半導体

• 阿部 孝夫

  信越半導体kk

• 飯田 敏

  富山大学理学部物理学科

• 寺山 明哲

  富山大学・理学部

• 飯田 敏

  富山大学・理学部

• 野上 幸子

  富山大・理

• 河田 洋

  高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所

• 北村 隆二

  富山大学・理学部

• 野上 幸子

  富山大学・理学部

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