8a-S-13 低速引き上げSi結晶中grown-in微小欠陥の放射光トポグラフィ観察III
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-09-16
著者
-
阿部 孝夫
信越半導体(株)半導体研究所
-
飯田 敏
富山大・理
-
岩井 剛一
富山大学・理学部
-
河田 洋
高エ研・放射光
-
阿部 孝夫
信越半導体
-
阿部 孝夫
信越半導体kk
-
飯田 敏
富山大学理学部物理学科
-
杉浦 直樹
富山大学・理学部
-
寺山 明哲
富山大学・理学部
-
石松 直樹
富山大学・理学部
-
飯田 敏
富山大学・理学部
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