1p-E-1 Si 単結晶の酸化熱処理で発生する転位ループ

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1971-09-30

著者

• 阿部 孝夫

  信越半導体(株)半導体研究所

• 阿部 孝夫

  信越半導体

• 阿部 孝夫

  信越半導体kk

• 千川 純一

  NHK基礎研

• 千川 純一

  KEK・PF

• 大滝 紀夫

  信越半導体

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