3p-M-11 引き上げ途中その場アニールされたCZ-Si結晶中微小欠陥の高エネルギー放射光トポグラフィ観察

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-03-15

著者

• 阿部 孝夫

  信越半導体(株)半導体研究所

• 飯田 敏

  富山大・理

• 岩井 剛一

  富山大学・理学部

• 河田 洋

  高エ研・放射光

• 河田 洋

  高エネルギー加速器研究機構・物質構造科学研究所・放射光科学研究施設

• 阿部 孝夫

  信越半導体

• 阿部 孝夫

  信越半導体kk

• 飯田 敏

  富山大学理学部物理学科

• 杉浦 直樹

  富山大学・理学部

• 寺山 明哲

  富山大学・理学部

• 石松 直樹

  富山大学・理学部

• 飯田 敏

  富山大学・理学部

• 河田 洋

  高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所

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