27p-L-11 結晶傾斜法によって測定した微小欠陥を含むCzシリコン結晶におけるペンデル振動
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
飯田 敏
富山大・理
-
上田 和浩
日立・日立研
-
杉田 吉充
富山大・理
-
飯田 敏
富山大学理学部物理学科
-
飯田 敏
富山大学・理学部
-
経田 昌幸
富山大学 理学部
-
上田 和浩
富山大学 理学部
-
上田 和浩
富山大学・理学部
-
経田 昌幸
富山大学・理学部
-
杉田 吉充
富山大学・理学部
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