SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
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概要
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- 1999-05-01
著者
-
青山 隆
日立製作所日立研究所
-
上田 和浩
日立・日立研
-
青山 隆
日立・日立研
-
木本 浩司
日立・日立研
-
矢野 史子
日立・半導体事業部
-
三井 泰裕
日立・半導体事業部
-
矢野 史子
(株)日立製作所 半導体グループ
-
三井 泰裕
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
木本 浩司
物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ
-
木本 浩司
名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
上田 和浩
富山大学 理学部
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