EF-TEMによるLSI用高誘電体膜の分析評価
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概要
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- 2000-05-01
著者
-
青山 隆
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
矢野 史子
(株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部
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三井 泰裕
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
寺田 尚平
日立,日立研
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青山 隆
日立,日立研
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矢野 史子
日立半導体事業部
-
三井 泰裕
日立半導体事業部
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