三井 泰裕 | (株)日立ハイテクノロジーズ

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概要

• 同名の論文著者
• (株)日立ハイテクノロジーズの論文著者

関連著者

• 三井 泰裕

  (株)日立ハイテクノロジーズ

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 矢野 史子

  (株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 中央研究所

• 青山 隆

  (株)日立ハイテクノロジーズ

• 水野 貴之

  株式会社ルネサステクノロジ

• 梅村 馨

  (株)日立製作所中央研究所

• 柳田 博史

  株式会社ルネサステクノロジ

• 柳田 博史

  (株)日立製作所半導体グループ

• 水野 貴之

  (株)日立製作所半導体グループ

• 志知 広康

  (株)日立製作所中央研究所

• 青山 隆

  日立製作所日立研究所

• 上田 和浩

  日立・日立研

• 青山 隆

  日立・日立研

• 木本 浩司

  日立・日立研

• 矢野 史子

  日立・半導体事業部

• 三井 泰裕

  日立・半導体事業部

• 尾内 享裕

  (株)日立製作所 中央研究所

• 池田 修二

  Advanced Technology Development Facility

• 柿林 博司

  (株)日立製作所中央研究所

• 三井 泰裕

  (株)日立製作所半導体事業部

• 木本 浩司

  物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ

• 木本 浩司

  名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻

• 池田 修二

  トレセンティーテクノロジーズ株式会社

• 徳永 尚文

  (株)日立製作所デバイス開発センター

• 尾内 享裕

  日立 中研

• 上田 和浩

  富山大学 理学部

• 徳永 尚文

  日立 デバイス開セ

• 寺田 尚平

  (株)日立製作所日立研究所

• 寺田 尚平

  日立,日立研

• 青山 隆

  日立,日立研

• 矢野 史子

  日立半導体事業部

• 三井 泰裕

  日立半導体事業部

• 柿林 博司

  日立 中研

• 志知 広康

  (株)日立製作所 中央研究所 ナノプロセス研究部

• 柿林 博司

  (株)日立ハイテクノロジーズ

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著作論文

• SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
• 3-1 システムLSIを支えるデバイス, プロセス技術 (3. 基盤技術)
• ULSIデバイス・プロセスの不良解析
• ナノプローブ技術を応用した4深針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術
• ナノプローブ技術を応用した4探針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術
• TEM-EELSによる半導体デバイスの局所化学結合状態解析
• EF-TEMによるLSI用高誘電体膜の分析評価
• ULSI用高純度ガス中の超微量不純物分析技術--大気圧イオン化質量分析計によるガス中超微量不純物分析技術

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