矢野 史子 | (株)日立製作所 半導体グループ
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
矢野 史子
(株)日立製作所 半導体グループ
-
矢野 史子
(株)日立製作所 中央研究所
-
三井 泰裕
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
矢野 史子
(株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部
-
青山 隆
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
志知 広康
(株)日立製作所中央研究所
-
柿林 博司
(株)日立製作所中央研究所
-
水野 貴之
株式会社ルネサステクノロジ
-
梅村 馨
(株)日立製作所中央研究所
-
柳田 博史
株式会社ルネサステクノロジ
-
柳田 博史
(株)日立製作所半導体グループ
-
水野 貴之
(株)日立製作所半導体グループ
-
柿林 博司
日立 中研
-
志知 広康
(株)日立製作所 中央研究所 ナノプロセス研究部
-
柿林 博司
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
青山 隆
日立製作所日立研究所
-
上田 和浩
日立・日立研
-
青山 隆
日立・日立研
-
木本 浩司
日立・日立研
-
矢野 史子
日立・半導体事業部
-
三井 泰裕
日立・半導体事業部
-
高口 雅成
(株)日立製作所 中央研究所
-
矢野 史子
株式会社日立製作所中央研究所
-
三井 康裕
(株)日立ハイテクノロジーズ
-
荒川 史子
株式会社ルネサステクノロジ
-
木本 浩司
物質・材料研究機構 ナノ計測センター 先端電子顕微鏡グループ
-
朝山 匡一郎
(株)日立製作所 半導体グループ
-
内田 憲治
日本オプネクスト(株)
-
木本 浩司
名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
田中 俊明
(株)日立製作所 中央研究所
-
上田 和浩
富山大学 理学部
-
皆川 重量
日立製作所中央研究所
-
内田 憲治
(株)日立製作所 中央研究所
-
渡辺 明禎
(株)日立製作所 中央研究所
-
皆川 重量
(株)日立製作所 中央研究所
-
小川 吉文
株式会社ルネサステクノロジ
-
寺田 尚平
(株)日立製作所日立研究所
-
荒川 史子
(株)日立製作所 半導体グループ プロセス解析技術部
-
小川 吉文
(株)日立製作所 半導体グループ プロセス解析技術部
-
朝山 匡一郎
(株)ルネサステクノロジ 解析技術開発部
著作論文
- SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測
- ULSIデバイス・プロセスの不良解析
- SC-9-5 ULSIプロセス不良解析
- 窒化層形成とその表面状態制御によるサファイア基板上へのGaN成長
- ナノプローブ技術を応用した4深針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術
- ナノプローブ技術を応用した4探針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術
- TEM-EELSによる半導体デバイスの局所化学結合状態解析
- TEM, STEM-EELSによる半導体解析技術