矢野 史子 | 株式会社日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 矢野 史子

  株式会社日立製作所中央研究所

• 桐野 文良

  株式会社日立製作所中央研究所

• 大友 茂一

  株式会社日立製作所中央研究所

• 小礒 良嗣

  株式会社日立製作所中央研究所

• 大友 茂一

  (株)日立製作所中央研究所

• 桐野 文良

  (株)日立製作所中央研究所

• 高口 雅成

  (株)日立製作所 中央研究所

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 岩田 誠一

  (株)日立製作所中央研究所

• 岩田 誠一

  株式会社日立製作所中央研究所

• 山本 直樹

  株式会社日立製作所中央研究所

• 内田 憲治

  日本オプネクスト(株)

• 山本 直樹

  (株)日立製作所中央研究所

• 田中 俊明

  (株)日立製作所 中央研究所

• 皆川 重量

  日立製作所中央研究所

• 内田 憲治

  (株)日立製作所 中央研究所

• 渡辺 明禎

  (株)日立製作所 中央研究所

• 皆川 重量

  (株)日立製作所 中央研究所

• 矢野 史子

  (株)日立製作所 中央研究所

• 岩田 誠一

  日立 中研

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著作論文

• ESCAによるSiO_2/Si内の電子トラップ,正孔トラップの検出
• Fe-Ta-C磁性薄膜の耐食性に及ぼすAlあるいはGr, Ru添加の影響
• Fe-Ta-C系薄膜の結晶化過程に及ぼす添加元素の効果
• 窒化層形成とその表面状態制御によるサファイア基板上へのGaN成長

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