Fe-Ta-C系薄膜の結晶化過程に及ぼす添加元素の効果
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概要
著者
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矢野 史子
株式会社日立製作所中央研究所
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桐野 文良
株式会社日立製作所中央研究所
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大友 茂一
株式会社日立製作所中央研究所
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小礒 良嗣
株式会社日立製作所中央研究所
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大友 茂一
(株)日立製作所中央研究所
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桐野 文良
(株)日立製作所中央研究所
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