RFスパッタ法によるFe-Si多層膜の磁気特性
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概要
著者
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城石 芳博
(株)日立製作所
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大友 茂一
(株)日立製作所中央研究所
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熊坂 登行
(株)日立製作所パーソナル・メディア機器事業部
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城石 芳博
日立
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大友 茂一
日立
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斉藤 法利
日立
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斉藤 法利
(株)日立製作所中央研究所
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