プラスチック基板上に形成したCo-Cr-Pt系磁気記録媒体の微細構造に及ぼすシード層の影響
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概要
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アモルファスポリオレフリン(APO)基板上に直接、磁気記録媒体を形成したところ、磁性結晶粒子の異常成長が生じた。APO基板上にダイヤモンド構造のSi、bcc構造のMo, W, Nbそしてhcp構造のTi, Zrのシード層を形成した後に磁気記録媒体を作製した。TiあるいはZrを用いると、ガラス基板と同様の微細な結晶粒子が得られ、磁性結晶粒の異常成長が抑制できた。ZrあるいはTi膜厚と構造との関係を調べたところ、膜厚の増大とともに、Crの110およびCoの002の配向性が向上した。また、Ti膜を10nmで一定にしておき、Cr_<85>Ti_<15>膜厚を変化させたところ、100nmの場合が最も良好な配向性が得られた。
- 2000-02-18
著者
-
桐野 文良
東京芸術大学大学院美術研究科
-
稲葉 信幸
日立中研
-
二本 正昭
(株)日立製作所・中央研究所
-
稲葉 信幸
山形大学大学院理工学研究科
-
桐野 文良
(株)日立製作所中央研究所ストレージ研究センタ
-
稲葉 信幸
(株)日立製作所 中央研究所
-
小礒 良嗣
(株)日立製作所 中央研究所
-
桐野 文良
(株)日立製作所中央研究所
-
稲葉 信幸
日立 中研
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